該設(shè)備在各行各業(yè)已經(jīng)廣泛應(yīng)用，
等離子清洗機(jī)設(shè)備原理并不復(fù)雜，但是一套完整的等離子系統(tǒng)包含很多方面。它的原理是兩個電極之間形成高頻交變電場，用真空泵在裝置的密閉容器中實(shí)現(xiàn)一定的真空度隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動距離也越來越長，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，活性等離子對孔壁內(nèi)鉆污、殘膠及油污等污染物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，污染物部分蒸發(fā)或在高能量離子的沖擊下被擊碎，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，從而達(dá)到清洗目的。
設(shè)備在使用過程中，合理有效的進(jìn)行設(shè)備維護(hù)，能夠減少設(shè)備的故障率，增加設(shè)備的使用壽命，同時能夠保證清洗達(dá)到生產(chǎn)的工藝標(biāo)準(zhǔn)。這在工業(yè)生產(chǎn)制造上，能起到很大的穩(wěn)定作用。
等離子清洗機(jī)的真空腔體保養(yǎng)：
等離子腔體清潔時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴(yán)重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機(jī)將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導(dǎo)入N2和O2，用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物，工作10min。
在實(shí)際生產(chǎn)中，我們發(fā)現(xiàn)該清洗機(jī)一些重要的部件會隨著使用時間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起該清洗機(jī)達(dá)不到清洗效果的原因，例如反應(yīng)腔、電極、托板架、氣體的壓力等。
